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光子橋接激光鍵合在激光退火和激光鉆孔的應(yīng)用

更新時(shí)間:2023-02-07      點(diǎn)擊次數(shù):1106
光子橋接優(yōu)勢(shì):
1、實(shí)現(xiàn)硅基光電芯片網(wǎng)絡(luò)之間低損耗連接;
2、實(shí)現(xiàn)硅基光子芯片網(wǎng)絡(luò)連接自動(dòng)化,提升連接效率;
3、提升每毫米芯片尺度連接密度,提升硅基光子芯片集成度;
4、實(shí)現(xiàn)三維空間硅基光子芯片間自由連接。
光子橋接激光鍵合方式具有無(wú)需壓力、無(wú)高溫殘余應(yīng)力、無(wú)需強(qiáng)電場(chǎng)干擾等諸多優(yōu)勢(shì)。
激光退火: 
激光退火技術(shù)主要用于修復(fù)半導(dǎo)體材料,尤其是硅。傳統(tǒng)的加熱退火技術(shù)是把整個(gè)晶圓放在真空爐中,在一定的溫度(一般是300-1200℃)下退火10-60min。這種退火方式并不能完全消除缺陷,高溫卻導(dǎo)致材料性能下降,摻雜物質(zhì)析出等問題。因此從上世紀(jì)末開始,激光退火的研究就變得十分活躍,發(fā)展出毫秒級(jí)脈沖激光退火、納秒級(jí)脈沖激光退火和高頻Q開關(guān)脈沖激光退火等多種激光退火方法。近些年來,激光退火已在國(guó)內(nèi)外取得了一些成熟的應(yīng)用。激光退火主要優(yōu)勢(shì)體現(xiàn)在: 
(1)加熱時(shí)間短,能夠獲得高濃度的摻雜層; 
(2)加熱局限于局部表層,不會(huì)影響周圍元件的物理性能; 
(3)能夠能到半球形的很深的接觸區(qū); 
(4)由于激光束可以整形到非常細(xì),為微區(qū)薄層退火提供了可能。
激光鉆孔: 
激光鉆孔廣泛用于金屬、PCB、玻璃面板等領(lǐng)域的鉆孔。

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